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    Title :

    Schlussbericht gemäß Nr. 8.2 NKBF 98 zum Vorhaben: Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007


    Additional title:

    Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien



    Publication date :

    2008


    Size :

    Online-Ressource (87 S., 12,3 MB)


    Remarks:

    Ill., graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMBF 01M3154H. - Verbund-Nr. 01024384
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als gedr. Ausg. vorhanden
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German , English