Schlussbericht gemäß Nr. 8.2 NKBF 98 zum Vorhaben: Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007
Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien
2008
Getr. Zählung, [ca. 180] S.
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 01M3154H. - Verbund-Nr. 01024384
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh.
Report
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