Access

    Access via TIB

    Check availability in my library


    Export, share and cite



    Title :

    Schlussbericht gemäß Nr. 8.2 NKBF 98 zum Vorhaben: Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007


    Additional title:

    Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien



    Publication date :

    2008


    Size :

    Getr. Zählung, [ca. 180] S.


    Remarks:

    Ill., graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMBF 01M3154H. - Verbund-Nr. 01024384
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als elektronische Ressource vorh.


    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German , English