Entwicklung neuer Finite-Element-Modelle und Algorithmen zur Material- und Prozesssimulation : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4220 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007
2008
Online-Ressource (127 S., 8,84 MB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 01M3154J. - Verbund-Nr. 01024384. - Die Vorlage enth. insgesamt 2 Werke
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