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    Title :

    Entwicklung neuer Finite-Element-Modelle und Algorithmen zur Material- und Prozesssimulation : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4220 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007



    Publication date :

    2008


    Size :

    Online-Ressource (127 S., 8,84 MB)


    Remarks:

    Ill., graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMBF 01M3154J. - Verbund-Nr. 01024384. - Die Vorlage enth. insgesamt 2 Werke
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden.- Auch als gedr. Ausg. vorhanden
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German , English