Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien ; Schlussbericht ... ; Laufzeit: 01.10.2003 - 31.12.2007
Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien
ABBILD
2008
Online-Ressource (51 S., 2,29 MB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 01M3154A. - Verbund-Nr. 01024384
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