Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien ; Schlussbericht ... ; Laufzeit: 01.10.2003 - 31.12.2007
Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien
ABBILD
2008
51 Bl.
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 01M3154A. - Verbund-Nr. 01024384
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh.
Report
German