Methoden der Defekterkennung für die 193nm- und die EUV-Technologie, Demonstrator-Entwicklung : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4300 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007
2008
Article/Chapter (Book)
Electronic Resource
German , English