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    Title :

    Methoden der Defekterkennung für die 193nm- und die EUV-Technologie, Demonstrator-Entwicklung : Abschlussbericht ; Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: 4, Arbeitspaket: 4300 ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007


    Contributors:


    Publication date :

    2008



    Type of media :

    Article/Chapter (Book)


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German , English