Schlussbericht gemäß Nr. 8.2 NKBF 98 zum Vorhaben: Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien ; Laufzeit: 01.10.2003 - 30.09.2007
Verbundprojekt: Abbildungsmethodiken für nano-elektronische Bauelemente (ABBILD), Teilvorhaben: Grundlagen innovativer Maskentechnologien
2008
Online-Ressource (87 S., 12,3 MB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 01M3154H. - Verbund-Nr. 01024384
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Report
Elektronische Ressource
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