Es wird ein Polysiliziumsensorelement vorgestellt, welches neben dem eigentlichen Sensor die komplette Schaltungselektronik einschließlich einer Selbsttestfunktion enthält. Zur Realisierung des Bauelements wurden Abscheidungsschichten verwendet. Eine der Möglichkeiten des oberflächenmikromaschinellen Prozesses ist die Kontrolle der Belastungen in der Abscheidungsschicht des Sensors. Diese Abscheidungsschichten bestehen aus Polysilizium, Siliziumnitrid und Nickel. Zur Herstellung des Sensorelements wurden Waferherstellungsverfahren übernommen. Zur Vereinfachung der Prozeßentwicklung wurde die BICMOS-Technik angewendet. Das Sensorelement selbst ist zentral in dem Bauelement angeordnet. Die elektronischen Schaltungselemente selbst wurden um den Sensor verteilt. Die Elektronik besteht aus einem Referenzmodul, einer Begrenzerschaltung, Oszillator, Demodulator, Selbsttesteinheit, Vorverstärker und Ausgangsverstärker. Der Sensor wird als Einchip-Airbag-Controller verwendet.


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    Title :

    Fabrication technology for an integrated surface-micromachined sensor


    Additional title:

    Herstellungstechnologie für einen integrierten, mikromaschinellen Sensor


    Contributors:
    Core, T.A. (author) / Tsang, W.K. (author) / Sherman, S.J. (author)

    Published in:

    Solid State Technology ; 36 , 10 ; 39-47


    Publication date :

    1993


    Size :

    6 Seiten, 13 Bilder, 13 Quellen



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson,J.D. / Zarabadi,S.R. / Sparks,D.R. et al. | Automotive engineering | 1995


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson, J.D. / Zarabadi, S.R. / Sparks, D.R. | Tema Archive | 1996


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Surface micromachined accelerometer:a technology update

    Payne,R.S. / Dinsmore,K.A. / Analog Devices Semiconductor,US | Automotive engineering | 1991