Es wird ein Polysiliziumsensorelement vorgestellt, welches neben dem eigentlichen Sensor die komplette Schaltungselektronik einschließlich einer Selbsttestfunktion enthält. Zur Realisierung des Bauelements wurden Abscheidungsschichten verwendet. Eine der Möglichkeiten des oberflächenmikromaschinellen Prozesses ist die Kontrolle der Belastungen in der Abscheidungsschicht des Sensors. Diese Abscheidungsschichten bestehen aus Polysilizium, Siliziumnitrid und Nickel. Zur Herstellung des Sensorelements wurden Waferherstellungsverfahren übernommen. Zur Vereinfachung der Prozeßentwicklung wurde die BICMOS-Technik angewendet. Das Sensorelement selbst ist zentral in dem Bauelement angeordnet. Die elektronischen Schaltungselemente selbst wurden um den Sensor verteilt. Die Elektronik besteht aus einem Referenzmodul, einer Begrenzerschaltung, Oszillator, Demodulator, Selbsttesteinheit, Vorverstärker und Ausgangsverstärker. Der Sensor wird als Einchip-Airbag-Controller verwendet.
Fabrication technology for an integrated surface-micromachined sensor
Herstellungstechnologie für einen integrierten, mikromaschinellen Sensor
Solid State Technology ; 36 , 10 ; 39-47
1993
6 Seiten, 13 Bilder, 13 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
Surface Micromachined Angular Rate Sensor
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