Es wird ein Polysiliziumsensorelement vorgestellt, welches neben dem eigentlichen Sensor die komplette Schaltungselektronik einschließlich einer Selbsttestfunktion enthält. Zur Realisierung des Bauelements wurden Abscheidungsschichten verwendet. Eine der Möglichkeiten des oberflächenmikromaschinellen Prozesses ist die Kontrolle der Belastungen in der Abscheidungsschicht des Sensors. Diese Abscheidungsschichten bestehen aus Polysilizium, Siliziumnitrid und Nickel. Zur Herstellung des Sensorelements wurden Waferherstellungsverfahren übernommen. Zur Vereinfachung der Prozeßentwicklung wurde die BICMOS-Technik angewendet. Das Sensorelement selbst ist zentral in dem Bauelement angeordnet. Die elektronischen Schaltungselemente selbst wurden um den Sensor verteilt. Die Elektronik besteht aus einem Referenzmodul, einer Begrenzerschaltung, Oszillator, Demodulator, Selbsttesteinheit, Vorverstärker und Ausgangsverstärker. Der Sensor wird als Einchip-Airbag-Controller verwendet.


    Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Fabrication technology for an integrated surface-micromachined sensor


    Weitere Titelangaben:

    Herstellungstechnologie für einen integrierten, mikromaschinellen Sensor


    Beteiligte:
    Core, T.A. (Autor:in) / Tsang, W.K. (Autor:in) / Sherman, S.J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Solid State Technology ; 36 , 10 ; 39-47


    Erscheinungsdatum :

    1993


    Format / Umfang :

    6 Seiten, 13 Bilder, 13 Quellen



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson,J.D. / Zarabadi,S.R. / Sparks,D.R. et al. | Kraftfahrwesen | 1995


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson, J.D. / Zarabadi, S.R. / Sparks, D.R. | Tema Archiv | 1996


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995


    Surface micromachined accelerometer:a technology update

    Payne,R.S. / Dinsmore,K.A. / Analog Devices Semiconductor,US | Kraftfahrwesen | 1991


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995