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    Titel :

    Surface micromachined angular rate sensor


    Weitere Titelangaben:

    Winkelgeschwindigkeitssensor mit mikrobearbeiteter Oberflaeche.



    Erscheinungsdatum :

    1995


    Format / Umfang :

    7 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;950538;1995;Sensors and Actuators 1995;SAE Spec.Publ.; SP-1066


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson, J.D. / Zarabadi, S.R. / Sparks, D.R. | Tema Archiv | 1996


    A CMOS integrated surface micromachined angular rate sensor for automotive applications

    Sparks,D.R. / Zaranadi,S.R. / Johnson,J.D. et al. | Kraftfahrwesen | 1997


    A CMOS integrated surface micromachined angular rate sensor for automotive applications

    Sparks, D. R. / Zarabadi, S. R. / Johnson, J. D. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997