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    Titel :

    Development of high aspect ratio X-ray parabolic compound refractive lens at Indus-2 using X-ray lithography


    Beteiligte:
    Dhamgaye, V. P. (Autor:in) / Tiwari, M. K. (Autor:in) / Garg, C. K. (Autor:in) / Tiwari, P. (Autor:in) / Sawhney, K. J. (Autor:in) / Lodha, G. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 2055-2060


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of high aspect ratio comb-drive actuator using deep X-ray lithography at Indus-2

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