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    Titel :

    Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU8 submicron structures


    Beteiligte:
    Reznikova, E. (Autor:in) / Mohr, J. (Autor:in) / Boerner, M. (Autor:in) / Nazmov, V. (Autor:in) / Jakobs, P. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1683-1688


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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