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    Titel :

    Submicron-scale surface acoustic wave resonators fabricated by high aspect ratio X-ray lithography and aluminum lift-off


    Beteiligte:
    Achenbach, S. (Autor:in) / Klymyshyn, D. (Autor:in) / Mappes, T. (Autor:in) / Kachayev, A. (Autor:in) / Subramanian, V. (Autor:in) / Wells, G. (Autor:in) / Mohr, J. r. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1715-1719


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83