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    Titel :

    High throughput projection UV lithography of high-aspect-ratio thick SU-8 microstructures


    Beteiligte:
    Yang, R. (Autor:in) / Mullen, C. (Autor:in) / Schaline, M. (Autor:in) / Reithmaier, K. (Autor:in) / Sheets, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1233-1243


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    11 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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    Erickson, L. L. / Gambucci, B. J. / Wilcox, P. R. | NTRS | 1971



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    Liu, G. / Tian, Y. / Kan, Y. | British Library Online Contents | 2005