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    Titel :

    High-aspect-ratio microstructures fabricated by X-ray lithography of polymethylsilses-quioxane-based spin-on glass thick films


    Beteiligte:
    Liu, Y. (Autor:in) / Cui, T. (Autor:in) / Coane, P. J. (Autor:in) / Vasile, M. J. (Autor:in) / Goettert, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2003


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    High throughput projection UV lithography of high-aspect-ratio thick SU-8 microstructures

    Yang, R. / Mullen, C. / Schaline, M. et al. | British Library Online Contents | 2008


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