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    Titel :

    Using megasonic development of SU-8 to yield ultra-high aspect ratio microstructures with UV lithography


    Beteiligte:
    Williams, J. D. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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