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    Titel :

    Fabrication of high-aspect-ratio microstructures using SU8 photoresist


    Beteiligte:
    Liu, G. (Autor:in) / Tian, Y. (Autor:in) / Kan, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 4/5 ; 343-346


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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