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    Titel :

    Releasing high aspect ratio SU-8 microstructures using AZ photoresist as a sacrificial layer on metallized Si substrates


    Beteiligte:
    Lau, K. H. (Autor:in) / Giridhar, A. (Autor:in) / Harikrishnan, S. (Autor:in) / Satyanarayana, N. (Autor:in) / Sinha, S. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 11 ; 1863-1871


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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