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    Titel :

    Slotted capacitive microphone with sputtered aluminum diaphragm and photoresist sacrificial layer


    Beteiligte:
    Ganji, B. A. (Autor:in) / Majlis, B. Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 10 ; 1803-1809


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    High sensitivity and small size MEMS capacitive microphone using a novel slotted diaphragm

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