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    Titel :

    Fabrication of high aspect ratio comb-drive actuator using deep X-ray lithography at Indus-2


    Beteiligte:
    Shukla, R. (Autor:in) / Dhamgaye, V. P. (Autor:in) / Jain, V. K. (Autor:in) / Ram Sankar, P. (Autor:in) / Mukherjee, C. (Autor:in) / Pant, B. D. (Autor:in) / Lodha, G. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 7 ; 1273-1280


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Development of high aspect ratio X-ray parabolic compound refractive lens at Indus-2 using X-ray lithography

    Dhamgaye, V. P. / Tiwari, M. K. / Garg, C. K. et al. | British Library Online Contents | 2014


    Fabrication of high aspect ratio nano gratings using SR lithography

    Kato, F. / Fujinawa, S. / Li, Y. et al. | British Library Online Contents | 2007


    Fabrication of Fresnel zone plates with high aspect ratio by soft X-ray lithography

    Liu, L. / Liu, G. / Xiong, Y. et al. | British Library Online Contents | 2008



    Fabrication of high-aspect-ratio hydrogel microstructures

    Tirumala, V. R. / Divan, R. / Mancini, D. C. et al. | British Library Online Contents | 2005