본 발명은 자기부상 반송장치를 개시한다. 보다 상세하게는, 본 발명은 액정표시장치와 같은 평판표시장치의 제조공정에서 이용되는 챔버내에 설치되어 기판을 이송하는 자기부상 반송장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따르면, 캐리어를 부상 및 지지하는 전자석을 챔버외부에 설치하고, 챔버벽을 관통하여 전자석과 접촉하는 제2 코어부를 캐리어에 인접시켜 전자석과 동일한 전자기력을 확보함에 따라, 전자석 및 이와 관련된 부품을 챔버외부로 배치시킴으로써, Out-gassing에 의한 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.
MAGNETIC LEVITATION TRANSFER APPARATUS
자기부상 반송장치
2021-05-12
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen |