트랜스퍼 챔버 내에서 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서, 상기 이송 경로를 따라 상기 이송체의 아래쪽에 배치되는 제1 부상용 자성체, 및 상기 제1 부상용 자성체와 자기적으로 작용하여 상기 이송 경로에서 상기 이송체가 자기적으로 부상되도록 상기 제1 부상용 자성체와 마주하는 상기 이송체의 이면에 구비되는 제2 부상용 자성체를 포함하는 부상용 자성체와, 상기 부상용 자성체에 의해 자기 부상되는 상기 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 상기 이송체의 일측 단부에 구비되는 이동자, 및 상기 이동자와 마주하도록 상기 챔버의 일측 외벽 또는 내벽에 구비되는 고정자를 포함하는 이송 추진부; 및 상기 이송 추진부에 의해 생성되어 상기 이송체의 이송을 방해하는 힘을 상쇄하도록 상기 이송체의 일측 단부와 반대편인 상기 이송체의 타측 단부에 구비되는 제1 상쇄 자성체, 및 상기 제1 상쇄 자성체와 마주하도록 상기 챔버의 타측벽에 구비되는 제2 상쇄 자성체를 포함하는 상쇄 자성체를 구비한다.
Magnetic levitation transfer apparatus
자기 부상 이송 장치
2019-01-17
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen |