트랜스퍼 챔버 내에서 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서, 상기 이송 경로를 따라 배치되는 제1 부상용 자성체들; 상기 제1 부상용 자성체들과 자기적으로 작용하여 상기 이송 경로에서 자기적으로 부상되도록 상기 제1 부상용 자성체들에 대응되게 상기 이송체에 구비되는 제2 부상용 자성체들; 및 상기 제1 부상용 자성체들 및 상기 제2 부상용 자성체들에 의해 자기 부상되는 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 상기 이송체에 구비되는 이동자, 및 상기 이동자에 대응되도록 상기 챔버 내에 구비되는 고정자를 포함하는 이송 추진부를 구비할 수 있다.
Magnetic levitation transfer apparatus
자기 부상 이송 장치
2019-08-01
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen |