Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie, Teilvorhaben: Referenzgitter und Detektoreinheit : Abschlußbericht zum Teilprojekt ... innerhalb des BMBF Verbundprojektes ... ; Projektzeitraum: 01.07.2000 - 30.05.2004
2004
Online-Ressource (31 S., 3,92 MB)
Ill., graph. Darst
Förderkennzeichen BMBF 13N7846. - Verbund-Nr. 01017856
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Report
Electronic Resource
German
Teilvorhaben Transportoptimierung innerhalb des BMBF-Verbundprojektes HYBRID : Abschlußbericht
TIBKAT | 1997
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