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    Title :

    Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie, Teilvorhaben: Referenzgitter und Detektoreinheit : Abschlußbericht zum Teilprojekt ... innerhalb des BMBF-Verbundprojektes ... ; Projektzeitraum: 01.07.2000 - 30.05.2004


    Contributors:

    Publication date :

    2004


    Size :

    31 Bl


    Remarks:

    Ill., graph. Darst
    Förderkennzeichen BMBF 13N7846. - Verbund-Nr. 01017856
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als elektronische Ressource vorh.
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German