Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie, Teilprojekt "Prozessintegration" : Abschlussbericht zu FKZ 13N7841 ; Laufzeit: 1.6.2000 bis 31.5.2004
2004
85 Bl
Ill., graph. Darst
Verbund-Nr. 01017856
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh.
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German