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    Titel :

    Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie, Teilvorhaben: Referenzgitter und Detektoreinheit : Abschlußbericht zum Teilprojekt ... innerhalb des BMBF Verbundprojektes ... ; Projektzeitraum: 01.07.2000 - 30.05.2004


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    2004


    Format / Umfang :

    Online-Ressource (31 S., 3,92 MB)


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst
    Förderkennzeichen BMBF 13N7846. - Verbund-Nr. 01017856
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als gedr. Ausg. vorhanden
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Medientyp :

    Report


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Deutsch