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    Title :

    Verbundprojekt Drahtsägen, Teilprojekt: Grundlegende Untersuchungen zum Mechanismus der Zerkleinerung beim Drahtsägen von Siliziumwafern : Forschungsbericht 01.08.98-31.12.98


    Additional title:

    Grundlegende Untersuchungen zum Mechanismus der Zerkleinerung beim Drahtsägen von Siliziumwafern


    Contributors:
    Borst, Ch. (author) / Möller, H. J. (author)

    Publication date :

    1999


    Size :

    5 Bl


    Remarks:

    Ill., graph. Darst
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



    Classification :

    BKL:    52.75 Spanende Materialbearbeitung / 51.32 Werkstoffmechanik / 53.56 Halbleitertechnologie / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher