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    Titel :

    Verbundprojekt Drahtsägen, Teilprojekt: Grundlegende Untersuchungen zum Mechanismus der Zerkleinerung beim Drahtsägen von Siliziumwafern : Forschungsbericht 01.08.98-31.12.98


    Weitere Titelangaben:

    Grundlegende Untersuchungen zum Mechanismus der Zerkleinerung beim Drahtsägen von Siliziumwafern


    Beteiligte:
    Borst, Ch. (Autor:in) / Möller, H. J. (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    1999


    Format / Umfang :

    5 Bl


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Report


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    BKL:    52.75 Spanende Materialbearbeitung / 51.32 Werkstoffmechanik / 53.56 Halbleitertechnologie / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher