Verbundprojekt Drahtsägen (HODRAS), Teilvorhaben: Schädigungsmechanismen beim Hochleistungsdrahtschleifen von Siliziumwafern : Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 1.05.1999 bis 31.12.2003 ; Abschlussbericht
2003
Online-Ressource (57 S., 3,12 MB)
Ill., graph. Darst
Förderkennzeichen BMBF 0329667K. - Verbund-Nr. 01001407. - Literaturverz. Bl. 55 - 56
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