A novel interferometric ellipsometer with no moving parts which uses a semiconductor laser diode as the source is described. Temporal fringes are produced by modulation of the bias current and unbalanced arms in the interferometer.


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    Titel :

    Novel interferometric ellipsometer with wavelength-swept source


    Beteiligte:
    Watkins, L.R. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    180635 byte



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Interferometric differential phase ellipsometer

    Chou, C. / Teng, H.-K. / Guo li Taiwan da xue et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


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    Chien Chou, / Hui-Kang Teng, | IEEE | 2003


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    Watkins, L.R. / Hoogerland, M.D. | IEEE | 2005



    In-situ single-wavelength ellipsometer for a vacuum chamber [4416-01]

    Chegal, W. / Ye, S. / Cho, H. M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2001