We present a differential phase detection scheme which incorporates a common-path optical heterodyne interferometer to measure the ellipsometric parameters in near real time.


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    Titel :

    Interferometric differential phase ellipsometer


    Beteiligte:
    Chien Chou, (Autor:in) / Hui-Kang Teng, (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    2003-01-01


    Format / Umfang :

    60570 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Interferometric differential phase ellipsometer

    Chou, C. / Teng, H.-K. / Guo li Taiwan da xue et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    A heterodyne interferometric ellipsometer

    Watkins, L.R. / Hoogerland, M.D. | IEEE | 2005




    A new polarization modulated ellipsometer

    Collins, A. L. / Palmer, A. W. / Grattan, K. T. V. et al. | British Library Conference Proceedings | 1990