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    Titel :

    Pre-bond megasonic cleaning with improved process control


    Beteiligte:
    Dussault, D. (Autor:in) / Liebscher, E. (Autor:in) / Fournel, F. (Autor:in) / Payen, N. (Autor:in) / Dragoi, V. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 4/5 ; 545-550


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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