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    Titel :

    Megasonic agitation for enhanced electrodeposition of copper


    Beteiligte:
    Kaufmann, J. G. (Autor:in) / Desmulliez, M. P. (Autor:in) / Tian, Y. (Autor:in) / Price, D. (Autor:in) / Hughes, M. (Autor:in) / Strusevich, N. (Autor:in) / Bailey, C. (Autor:in) / Liu, C. (Autor:in) / Hutt, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 8 ; 1245-1254


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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