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    Titel :

    Fabrication of electrostatic MEMS microactuator based on X-ray lithography with Pb-based X-ray mask and dry-film-transfer-to-PCB process


    Beteiligte:
    Kerdlapee, P. (Autor:in) / Wisitsoraat, A. (Autor:in) / Phokaratkul, D. (Autor:in) / Leksakul, K. (Autor:in) / Phatthanakun, R. (Autor:in) / Tuantranont, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 1 ; 127-135


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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