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    Titel :

    Single mask fabrication process for movable MEMS devices


    Beteiligte:
    Alamin Dow, A. B. (Autor:in) / Gougam, A. (Autor:in) / Kherani, N. P. (Autor:in) / Rangelow, I. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 4/5 ; 955-961


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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