Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Silicon IC compatible LIGA mask-fabrication process


    Beteiligte:
    Suzuki, K. (Autor:in) / Sugiyama, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.1997


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Inexpensive, quickly producable X-ray mask for LIGA

    Harris, C. / Desta, Y. / Kelly, K. W. et al. | British Library Online Contents | 1999


    Fabrication of LIGA mold inserts

    Bacher, W. / Bade, K. / Matthis, B. et al. | British Library Online Contents | 1998


    Fabrication of large area diffraction grating using LIGA process

    Noda, D. / Tanaka, M. / Shimada, K. et al. | British Library Online Contents | 2008


    Fabrication of microneedle array using LIGA and hot embossing process

    Moon, S. J. / Lee, S. S. / Lee, H. S. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Fabrication of a spiral microcoil using a 3D-LIGA process

    Mekaru, H. / Kusumi, S. / Sato, N. et al. | British Library Online Contents | 2007