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    Titel :

    Silicon IC compatible LIGA mask-fabrication process


    Beteiligte:
    Suzuki, K. (Autor:in) / Sugiyama, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1997-01-01


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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