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    Titel :

    Inexpensive, quickly producable X-ray mask for LIGA


    Beteiligte:
    Harris, C. (Autor:in) / Desta, Y. (Autor:in) / Kelly, K. W. (Autor:in) / Calderon, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 5 , 4 ; 189-193


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Silicon IC compatible LIGA mask-fabrication process

    Suzuki, K. / Sugiyama, S. | British Library Online Contents | 1997


    Equations of exposure time and X-ray mask absorber thickness in the LIGA process

    Gil, K. H. / Lee, S. S. / Youm, Y. | British Library Online Contents | 2001


    The influence of mask substrate thickness on exposure and development times for the LIGA process

    Griffiths, S. K. / Ting, A. / Hruby, J. M. | British Library Online Contents | 2000


    Eine andere Liga - Abgasnachbehandlung

    Rosenberger,T. / Kolbenschmidt Pierburg,Neckarsulm,DE | Kraftfahrwesen | 2010


    Materials of LIGA technolgy

    Ehrfeld, W. / Hessel, V. / Loewe, H. et al. | British Library Online Contents | 1999