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    Titel :

    The influence of mask substrate thickness on exposure and development times for the LIGA process


    Beteiligte:
    Griffiths, S. K. (Autor:in) / Ting, A. (Autor:in) / Hruby, J. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2000


    Format / Umfang :

    18 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Equations of exposure time and X-ray mask absorber thickness in the LIGA process

    Gil, K. H. / Lee, S. S. / Youm, Y. | British Library Online Contents | 2001


    Silicon IC compatible LIGA mask-fabrication process

    Suzuki, K. / Sugiyama, S. | British Library Online Contents | 1997


    Transport limitations on development times of LIGA PMMA resists

    Griffiths, S. K. / Nilson, R. H. | British Library Online Contents | 2002


    Inexpensive, quickly producable X-ray mask for LIGA

    Harris, C. / Desta, Y. / Kelly, K. W. et al. | British Library Online Contents | 1999


    New LIGA exposure source in China

    Tang, E. / Yi, F. / Zhang, S. B. et al. | British Library Online Contents | 1998