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    Titel :

    Fabrication of a spiral microcoil using a 3D-LIGA process


    Beteiligte:
    Mekaru, H. (Autor:in) / Kusumi, S. (Autor:in) / Sato, N. (Autor:in) / Shimizu, M. (Autor:in) / Yamashita, M. (Autor:in) / Shimada, O. (Autor:in) / Hattori, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 3-4 ; 393-402


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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