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    Titel :

    Research development of measuring methods on the tribology characters for movable MEMS devices: a review


    Beteiligte:
    Guo, Z. (Autor:in) / Feng, Z. (Autor:in) / Fan, S. (Autor:in) / Zheng, D. (Autor:in) / Zhuang, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 3 ; 343-354


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    12 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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