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    Titel :

    Design and fabrication of a SU-8 based electrostatic microactuator


    Beteiligte:
    Dai, W. (Autor:in) / Lian, K. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 3-4 ; 271-277


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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