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    Titel :

    Design and fabrication of an electrothermal microactuator for multi-level conveying


    Beteiligte:
    Wu, C. T. (Autor:in) / Hsu, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 4 ; 293-298


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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