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    Titel :

    Fabrication of a high aspect ratio nanoporous array on silicon


    Beteiligte:
    Ho, J. Y. (Autor:in) / Chang, K. J. (Autor:in) / Wang, G. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 11 ; 1849-1856


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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