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    Titel :

    Fabrication of high-aspect-ratio electrode array by combining UV-LIGA with micro electro-discharge machining


    Beteiligte:
    Hu, Y. Y. (Autor:in) / Zhu, D. (Autor:in) / Qu, N. S. (Autor:in) / Zeng, Y. B. (Autor:in) / Ming, P. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 4 ; 519-525


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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