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    Titel :

    High aspect ratio electrostatic micro actuators using LIGA process


    Beteiligte:
    Kondo, R. (Autor:in) / Takimoto, S. (Autor:in) / Suzuki, K. (Autor:in) / Sugiyama, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2000


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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