Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    A Novel High Aspect Ratio Technology for MEMS Fabrication Using Standard Silicon Wafers


    Beteiligte:

    Kongress:

    International conference; 7th, Advanced microsystems for automotive applications ; 2003 ; Berlin



    Erscheinungsdatum :

    2003-01-01


    Format / Umfang :

    8 pages


    Anmerkungen:

    Also known as the 7th AMAA



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





    Study on fabrication of high aspect ratio MEMS microparts using a compact SR beamline

    Sugiyama, S. / Zhang, Y. / Hosaka, M. et al. | British Library Online Contents | 1998


    Low g Inertial Sensor based on High Aspect Ratio MEMS

    Reze, M. / Hammond, J. | British Library Conference Proceedings | 2005


    Fabrication technique for high-aspect-ratio gratings [3879-07]

    Kley, E.-B. / Fuchs, H.-J. / Zoellner, K. | British Library Conference Proceedings | 1999


    High-aspect-ratio wings

    Peterson, John B., Jr. | NTRS | 1988