Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Study on fabrication of high aspect ratio MEMS microparts using a compact SR beamline


    Beteiligte:
    Sugiyama, S. (Autor:in) / Zhang, Y. (Autor:in) / Hosaka, M. (Autor:in) / Ueno, H. (Autor:in) / Tabata, O. (Autor:in) / Konishi, S. (Autor:in) / Maeday, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    3 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of photoplastic high-aspect ratio microparts and micromolds using SU-8 UV resist

    Lorenz, H. / Despont, M. / Vettiger, P. et al. | British Library Online Contents | 1998


    SU-8: promising resist for advanced direct LIGA applications for high aspect ratio mechanical microparts

    Kouba, J. / Engelke, R. / Bednarzik, M. et al. | British Library Online Contents | 2007


    A Novel High Aspect Ratio Technology for MEMS Fabrication Using Standard Silicon Wafers

    Lohmann, C. / Bertz, A. / Kuchler, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Metrology of high aspect ratio MEMS

    Nichols, J. F. / Kurfess, T. R. | British Library Online Contents | 2004


    Fabrication methods for the manufacture of sapphire microparts

    Allen, D. M. / Redondo, R. / Dany, M. | British Library Online Contents | 2012