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    Titel :

    Fabrication of photoplastic high-aspect ratio microparts and micromolds using SU-8 UV resist


    Beteiligte:
    Lorenz, H. (Autor:in) / Despont, M. (Autor:in) / Vettiger, P. (Autor:in) / Renaud, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 4 , 3 ; 143-146


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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