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    Titel :

    Three-dimensional micro-structures consisting of high aspect ratio inclined micro-pillars fabricated by simple photolithography


    Beteiligte:
    Sato, H. (Autor:in) / Houshi, Y. (Autor:in) / Shoji, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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